4產(chǎn)品展示
致東 Radiation 全光譜橢偏儀 SE-RD-STD系列
產(chǎn)品概述
桌上型膜厚量測設(shè)備
安裝移動(dòng)迅速便捷
適用于所有非金屬膜質(zhì)
多樣化的應(yīng)用選擇
工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)端口
致東 Radiation 全光譜橢偏儀 SE-RD-STD系列
產(chǎn)品參數(shù)
| 規(guī)格 |
技術(shù)指標(biāo) |
| 品牌 |
致東 Radiation |
| 襯底類型 |
透明或半透明襯底 |
| 光源 |
氙燈 |
| 光源壽命 |
>8760H |
| 光譜范圍 |
300-1000nm |
| 入射角 |
70度（40度-90度 每5度可調(diào)） |
| 光斑直徑 |
100x120μm(Min80x100um) |
| 測量時(shí)間（不對(duì)焦） |
<2S(單層模型),<約6s（多層模型） |
| 膜厚測量范圍（單層膜） |
1nm-15μm |
| 對(duì)焦 |
自動(dòng)訊號(hào)對(duì)焦 |
| 膜厚測量精度 |
<0.5nm(基于標(biāo)片) |
| 折射率測量精度 |
<0.005(基于標(biāo)片) |
| 厚度重復(fù)性精度： |
<0.5A（1 sigma?標(biāo)準(zhǔn)差,10times）（基于標(biāo)準(zhǔn)片） |
| 折射率重復(fù)性精度： |
<0.0005（1 sigma標(biāo)準(zhǔn)差,10times）（基于標(biāo)準(zhǔn)片） |
| 可測試膜層數(shù)量 |
≥2層 |
| 標(biāo)片數(shù)量 |
2片 |
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